制课题组，在原有的历史中，就在今年，中科院109所与魔都光学仪器厂联手协作成功研制华夏第一台光刻机——65型接触式光刻机。
还成功研制了35mm圆片，10m线宽水平的硅平面工艺半导体设备。
此时世界上踏足半导体设备制造工艺的国家只有两个，一是丑国，再有就是华夏了